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直流电弧等离子真空设备
在众多金刚石膜沉积技术之中，高功率直流电弧等离子体喷射（DC Arc Plasma Jet CVD)通过电弧放电，在高温下产生极高的原子氢浓度，制备出高品质、大面积的CVD金刚石薄膜 ，誉芯金刚石拥有该设备全套成熟工艺，并提供技术辅导。
提供成套设备主要包括：
（1）真空沉积腔体；
（2）真空获得系统；
（3）排气和生长压力调节系统；
（4）沉积台系统；
（5）沉积电源；
（6）真空管道、附件、主机架；
（7）电气自动化控制系统；
（8）气路、水路系统；
（9）真空测量系统，温度、压力、流量测量控制系统；
(10) 制冷系统。
